光學(xué)薄膜測(cè)量?jī)x的原理： 當(dāng)觸針沿被測(cè)表面輕輕滑過(guò)時(shí)，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時(shí)，還沿峰谷作上下運(yùn)動(dòng)。觸針的運(yùn)動(dòng)情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號(hào)經(jīng)測(cè)量電橋后，輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調(diào)幅信號(hào)。經(jīng)放大與相敏整流后，可將位移信號(hào)從調(diào)幅信號(hào)中解調(diào)出來(lái)，得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號(hào)。再經(jīng)噪音濾波器、波度濾波器進(jìn)一步濾去調(diào)制頻率與外界干擾信號(hào)以及波度等因素對(duì)粗糙度測(cè)量的影響。
根據(jù)使用傳感器的不同，接觸式臺(tái)階測(cè)量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。
光學(xué)薄膜測(cè)量?jī)x的主要特點(diǎn)：
真空壓差法測(cè)試原理；
三腔獨(dú)立測(cè)試；
三腔循環(huán)介質(zhì)控溫，各自獨(dú)立溫度傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)控；
智能模式，試驗(yàn)過(guò)程全自動(dòng)，一鍵式操作；
真空泵自動(dòng)啟停，無(wú)需人工開(kāi)關(guān)；
氣體透過(guò)率、擴(kuò)散系數(shù)、溶解度系數(shù)、滲透系數(shù)測(cè)試；
多種試驗(yàn)?zāi)Ｊ娇蛇x擇，可滿足各種標(biāo)準(zhǔn)、非標(biāo)試驗(yàn)；
數(shù)據(jù)審計(jì)追蹤、溯源；系統(tǒng)日志記錄；
5級(jí)用戶權(quán)限管理；
溫度曲線、濕度曲線、壓差曲線、曲線獨(dú)立顯示、曲線疊加；
可支持DSM實(shí)驗(yàn)室數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)，能實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)監(jiān)控、數(shù)據(jù)統(tǒng)一管理。
光學(xué)薄膜測(cè)量?jī)x由測(cè)繪主機(jī)、測(cè)繪平臺(tái)、Y型光纖及上位機(jī)軟件搭建而成，核心器件采用高分辨率、高靈敏度光譜儀結(jié)合*的算法技術(shù)，為用戶提供的自動(dòng)光學(xué)薄膜厚度測(cè)量?jī)x。
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